À medida que as estruturas dos dispositivos se tornam mais complexas, é necessária uma medição altamente precisa de wafers e chips que constituem o dispositivo. A medição precisa de wafers e chips é essencial para garantir uma produção de semicondutores de alta qualidade.
Aplicação: medição da altura de wafers e chips
A medição da deformação de wafers pode ser um desafio. Estes problemas podem ser causados por diversos fatores, como tensões durante o processamento ou variações de temperatura. À medida que as wafers se tornam mais finas, a deformação durante o processamento tende a ser mais pronunciada. A incapacidade de medir com precisão o objeto pode afetar negativamente o desempenho e a produtividade dos dispositivos semicondutores.
A nossa solução: tecnologia de deteção de deslocamento de alta precisão sem contacto
As tecnologias de medição a laser confocal da OMRON são adequadas para os desafios de deformação de wafers. Oferecem métodos sem contacto para medir a wafer, garantindo alta repetibilidade.
O sensor de deslocamento confocal de luz branca, exclusivo da OMRON, proporciona medições de maior resolução em superfícies angulares, curvas e brilhantes do que os sensores de deslocamento a laser tradicionais.
Aplicação: ajuste do eixo Z na ligação de chips
Medir a altura dos chips pode ser desafiante. Com o advento de dispositivos como os CI 3D, os chips de diferentes alturas e materiais devem ser medidos com precisão. A incapacidade de medir com exatidão o objeto também tem um impacto significativo no ajuste da altura do eixo Z durante as operações da cabeça de ligação.
A nossa solução: tecnologia de deteção de deslocamento de alta precisão sem contacto
As tecnologias de medição a laser confocal da OMRON são adequadas para os desafios de ajuste da altura do eixo Z. Proporcionam métodos sem contacto para medir os chips, garantindo uma elevada repetibilidade.
O sensor de deslocamento confocal de luz branca exclusivo da OMRON fornece medições de maior resolução em superfícies angulares, curvas e brilhantes do que os sensores de deslocamento a laser tradicionais.
Tecnologias de base
Princípio confocal de luz branca
A OMRON foi uma das primeiras na indústria a adotar o princípio confocal de luz branca ao introduzir a série ZW. Este princípio permite uma medição estável em movimento de objetos, mesmo em condições mistas, tais como superfícies rugosas, curvas, inclinadas ou estreitas.
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O rigoroso controlo de qualidade, a velocidade de produção e a inspecção da aparência estão sempre a aumentar. Para dar resposta a estas exigências, são necessárias medições estáveis durante o movimento para a inspecção de qualidade, sem comprometer a velocidade de produção. Tirando partido dos benefícios do princípio confocal de luz branca, as séries ZW dá resposta a estas exigências para a maioria dos materiais (vidro, metal, plástico, etc.) e formato (redondo, achatado, irregular, etc.).
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