Adaptação às alterações no ambiente do local de produção e aos materiais ecológicos
À medida que a procura de produtividade e qualidade cresce no fabrico de semicondutores, o controlo de temperatura preciso na superfície de wafers torna-se crucial para o desempenho do equipamento. A nossa tecnologia avançada de controlo de temperatura, desenvolvida ao longo de muitos anos, garante uma regulação uniforme de temperatura em vários pontos na superfície de wafers.
Aplicação: controlo de temperatura da superfície de wafers
O ambiente é diferente no destino de envio do equipamento e é necessários efetuar ajustes ao PID novamente no local. O ajuste do PID é necessário para cada tipo de peça, o que torna as alterações morosas.
A nossa solução: controlo de temperatura modular avançado
A nossa unidade de controlo de temperatura NX-TC liberta os locais de produção de trabalho oneroso de colocação em serviço e ajustes. Consegue captar alterações em condições que podem afetar a qualidade, como faria um trabalhador qualificado, e efetua automaticamente ajustes ao PID para proporcionar controlo de temperatura que irá manter de forma constante condições ideais.
Com a tecnologia de "controlo adaptável" incorporada neste produto, os valores PID ideais são calculados automaticamente para o momento de arranque e durante uma produção estável. Além disso, é possível monitorizar o estado de controlo de temperatura da máquina para ajustar automaticamente o valor PID com vista a obter o controlo da temperatura ideal em resposta a alterações como mudanças na peça de trabalho e na máquina.
Suprime automaticamente variações de temperatura causadas por perturbações de rotina
Proporciona um controlo automático estável em relação a variações de temperatura previsíveis. Contribui para a melhoria da qualidade e ajuda a aumentar a capacidade de produção reduzindo o tempo de espera até à estabilização da temperatura.
Aplicação: controlo preciso da temperatura com perturbações
A embalagem avançada e a elevada integração de semicondutores tornaram o controlo rigoroso da temperatura essencial. As perturbações de rotina causam variações de temperatura que afetam a qualidade. O tempo de espera até que as variações de temperatura, causadas por perturbações de rotina, estabilizem dificultam as melhorias na capacidade de produção.
A nossa solução: controlo avançado de temperatura
A função de supressão de perturbações é uma função de controlo que suprime automaticamente as variações de temperatura que se espera que sejam causadas por perturbações previsíveis. Os sinais de acionamento chegam ao controlador de temperatura antes de estas perturbações, ativam a função, que adiciona ou subtrai da variável manipulada (MV). O ajuste automático de perturbação ajusta automaticamente a alimentação positiva (FF) de MV, o tempo de funcionamento de FF e o tempo de espera de FF.
As unidades de controlo de temperatura NX-HTC e NX-TC proporcionam um controlo automático estável contra variações previsíveis de temperatura, por exemplo, causadas pela infiltração de ar exterior quando as portas são abertas e fechadas. O NX-HTC e o NX-TC contribuem para a melhoria da qualidade e ajudam a aumentar a capacidade de produção, reduzindo o tempo de espera até à estabilização da temperatura.
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