À medida que a ferramenta de processo se torna mais sofisticada e complexa, são necessários sensores de fibra com deteção estável e fácil instalação. Disponibilizamos uma vasta gama de produtos com funcionalidades específicas adequadas para a deteção de wafers no fabrico de semicondutores.
Aplicação: mapeamento de wafers
Ao recolher wafers com uma pinça de robô, é necessário detetar o número e a posição das wafers definidos nas FOUP para evitar reduzir a produtividade através de movimentos desnecessários. Existe também o risco de danificar a wafer quando a pinça do robô é inserida devido ao espaçamento estreito ou à deflexão da wafer.
A nossa solução: fibra ótica específica para a deteção de wafers
A OMRON fornece sensores com funcionalidades específicas que possuem uma cabeça de perfil fino e são fáceis de montar nos braços de robô para aplicações de fabrico de semicondutores.
A OMRON fornece uma solução de apoio à transferência de wafers no fabrico de semicondutores, utilizando as funcionalidades deste sensor para detetar o número e a posição de wafers na FOUP com um sensor retrorrefletivo.
Tecnologias de base
Sensores concebidos especificamente para a deteção fiável de wafers
Os sensores de fibra para o mapeamento de wafers têm um perfil fino e são fáceis de montar nos braços dos robôs. O ajuste do eixo ótico também é fácil. Sensores de fibra para deteção fiável de wafers, mesmo quando empilhadas.
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